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IC/芯片五大可靠性测试:HAST、HTOL、HTRB、H3TRB、HTGB老化测试
来源: 时间:2025-11-12

一、可靠性测试的核心意义 —— 从 “能工作” 到 “长期稳定工作”

芯片在实际应用中需面对高温、高湿、高压等极端工况(如车规芯片需耐受 150℃高温,工业芯片需抵抗 95% 高湿),而早期制造缺陷(如晶圆杂质、键合虚焊)可能在常规测试中隐匿,却在长期应力下爆发失效。HTRB、HTGB、H3TRB、HAST、HTOL 作为五大核心高温相关可靠性测试,其本质是通过 “加速应力模拟” 提前激发潜在缺陷,筛选出可靠芯片。而 IC 老化板作为 “芯片与测试系统的唯一接口”,需精准匹配不同测试的应力条件(温度、湿度、偏压),确保测试数据真实有效 —— 若老化板耐温不足、绝缘性差,轻则导致测试误差,重则烧毁芯片或测试设备。

IC老化板

二、五大核心可靠性测试:特点区别、应用场景与关键测试项

五大测试虽均以 “高温” 为基础应力,但在偏压类型、湿度条件、测试目的上差异显著,需通过精准定位适配不同芯片类型与应用场景。下表先明确核心区别,再分述每种测试的细节:

测试名称 核心应力条件 测试目的 适用芯片类型 典型标准 核心特点(与其他测试区别)

HTOL(高温工作寿命) 高温(85℃/125℃/150℃)+ 额定工作电压 / 电流 模拟实际工作状态,验证长期寿命 全品类芯片(MCU、SoC、功率器件) JEDEC JESD22-A108 带 “工作负载”,最贴近实际应用场景,测试周期最长(1000-10000h)

HTRB(高温反向偏压) 高温(125℃/150℃)+ 反向高压(额定电压 1.2-1.5 倍) 筛查 PN 结缺陷(如漏电、击穿) 功率器件(SiC/MOSFET、二极管) JEDEC JESD22-A104 仅加 “反向偏压”,无工作电流,侧重半导体结可靠性

HTGB(高温栅偏压) 高温(125℃/175℃)+ 栅极偏压(正向 / 反向) 验证栅极氧化层稳定性(防击穿 / 漏电) 场效应器件(MOSFET、IGBT) JEDEC JESD22-A106 针对 “栅极” 专项测试,避免栅氧层早期失效(如热载流子注入)

H3TRB(高湿高温反向偏压) 高温(85℃)+ 高湿(85% RH)+ 反向偏压 模拟高湿环境下的结可靠性 车规 / 户外芯片(车载 MCU、传感器) AEC-Q100(车规) 比 HTRB 多 “高湿” 应力,侧重封装密封性与抗水汽腐蚀

HAST(高加速应力测试) 高温(105℃/121℃)+ 高湿(85% RH/100% RH)+ 偏压(正向 / 反向) 短时间内加速失效,快速筛查缺陷 消费电子 / 工业芯片(手机 SoC、物联网模块) JEDEC JESD22-A110 应力最严苛(高温高湿叠加),测试周期最短(48-100h),替代传统 THB 测试

(一)HTOL(高温工作寿命测试):最贴近实际应用的 “长期考核”

核心特点:需给芯片施加 “额定工作电压 + 负载电流”,模拟芯片正常工作状态(如 CPU 运行指令、功率器件导通),测试周期通常为 1000-10000h(车规芯片需 1000h,航天芯片需 10000h),是可靠性测试中 “最全面的长期验证”。

应用场景:所有类型芯片的出厂前可靠性筛查,尤其适用于对寿命要求高的场景 —— 如车规 MCU(需满足 15 年 / 20 万公里寿命)、工业 PLC(需 10 万小时稳定工作)。

关键测试项:

动态参数监测:工作电流(Icc)波动≤10%、开关速度(tr/tf)变化≤20%;

功能完整性:每 100h 执行一次全功能测试,指令执行正确率≥99.999%;

失效判断:若出现参数超规、功能中断或芯片烧毁,判定为失效。

IC 老化板需求:需支持大电流传输(如 50-500A,适配功率器件)、低接触阻抗(≤20mΩ,避免额外压降影响工作状态)、长期耐温(≥180℃,应对 150℃测试温度 + 自身发热)。

(二)HTRB(高温反向偏压测试):功率器件的 “结可靠性专项”

核心特点:仅对芯片 PN 结施加 “反向高压”(通常为额定击穿电压的 80%-90%),无正向工作电流,专注筛查 PN 结的潜在缺陷(如晶格缺陷、表面漏电通道),测试周期 1000-2000h。

应用场景:以 PN 结为核心的功率器件,如 SiC 二极管(新能源汽车逆变器)、MOSFET(光伏逆变器)、IGBT(工业变频器),避免反向偏压下的 “软击穿” 或漏电流超标。

关键测试项:

反向漏电流(Irr):测试过程中 Irr 需≤规格书上限(如 SiC 二极管≤1μA@1200V),且无明显上升趋势;

击穿电压(BV):测试前后 BV 变化≤5%;

绝缘性能:芯片本体与引脚间绝缘阻抗≥1000MΩ@500V DC。

IC 老化板需求:高绝缘性能(≥2000MΩ@500V DC,防止高压漏电)、耐高压设计(支持 3000V 以上反向偏压,适配 SiC 器件)、防电弧结构(避免高压下空气击穿)。

芯片老炼测试板

(三)HTGB(高温栅偏压测试):场效应器件的 “栅氧层守护”

核心特点:针对 MOSFET、IGBT 等场效应器件的 “栅极氧化层”,施加正向或反向栅偏压(如 Vgs=±12V),结合高温环境,筛查栅氧层缺陷(如氧化层针孔、电荷俘获),测试周期 1000h。

应用场景:所有含栅极结构的器件,如车载 MOSFET(电机驱动)、射频 GaN HEMT(5G 基站功放),避免栅氧层击穿导致的器件失效(如栅极短路)。

关键测试项:

栅极漏电流(Igss):正向 / 反向偏压下 Igss≤1nA(避免栅极漏电导致功耗上升);

阈值电压(Vth):测试前后 Vth 变化≤10%(防止栅氧层电荷俘获导致性能漂移);

栅极击穿电压(BVgs):无击穿现象,且 BVgs≥规格书值(如≥±20V)。

IC 老化板需求:低栅极漏电流(自身 Ig≤0.1nA,避免干扰测试)、精准偏压控制(电压波动≤±0.5%)、耐温≥180℃(适配 175℃测试温度)。

(四)H3TRB(高湿高温反向偏压测试):车规 / 户外芯片的 “抗湿专项”

核心特点:在 HTRB 基础上增加 “85% RH 高湿” 应力,模拟车载(发动机舱高湿)、户外(雨天 / 雾天)等潮湿环境,测试周期 1000h,重点验证封装密封性与芯片抗水汽腐蚀能力。

应用场景:车规芯片(如车载雷达芯片、发动机控制 MCU)、户外传感器(如气象站温湿度传感器)、工业户外设备(如光伏逆变器),避免水汽侵入导致的引脚腐蚀或内部短路。

关键测试项:

反向漏电流(Irr):高湿环境下 Irr 增长≤50%,且测试后恢复至初始值;

封装密封性:无水汽侵入痕迹(通过染色测试验证);

引脚腐蚀:测试后引脚镀层腐蚀面积≤5%。

IC 老化板需求:防腐蚀材质(如 LCP + 镀金触点,抵抗高湿氧化)、密封结构(避免老化板自身吸潮影响测试)、绝缘阻抗稳定性(85℃/85% RH 下≥1500MΩ@500V DC)。

(五)HAST(高加速应力测试):消费电子的 “快速失效筛查”

核心特点:采用 “高温(105℃/121℃)+ 饱和高湿(100% RH)+ 偏压” 的极端组合,通过高应力加速缺陷暴露,测试周期仅 48-100h(是 HTOL 的 1/10),快速验证芯片抗恶劣环境能力。

应用场景:消费电子芯片(如手机 SoC、TWS 耳机芯片)、物联网模块(如智能家居传感器),缩短研发周期与量产筛查时间,降低测试成本。

关键测试项:

功能完整性:测试后芯片全功能正常,无逻辑错误;

参数漂移:静态电流(Iq)、工作电压(Vdd)变化≤10%;

焊点可靠性:BGA/CSP 封装的焊点无开裂(通过 X 射线检测)。

IC 老化板需求:耐高温高湿(≥130℃/100% RH,适配 121℃测试)、低吸湿性(吸水率≤0.1%,避免自身形变)、快速散热设计(测试后快速降温,防止冷凝水损坏芯片)。

芯片老化板

三、IC 老化板的核心作用:五大测试的 “可靠性桥梁”

IC 老化板并非简单的 “连接载体”,而是需根据不同测试的应力需求,实现 “环境适配、电气精准、长期稳定” 三大核心功能,其性能直接决定测试数据的可信度:

环境适配:耐受高温(-60℃~200℃)、高湿(85% RH~100% RH)、高压(3000V+),避免自身材质老化或性能退化影响测试;

电气精准:低接触阻抗(≤20mΩ)确保电流 / 电压传输无偏差,高绝缘性(≥1500MΩ)防止漏电干扰,低寄生参数(电感≤5nH、电容≤1pF)避免信号畸变;

长期稳定:机械寿命≥1000h(适配 HTOL/HTRB 的长周期测试),触点耐磨损(镀金层≥5μm)、抗腐蚀(适配 HAST/H3TRB 的高湿环境)。

四、鸿怡电子 IC 老化板:适配全场景的可靠性测试解决方案

鸿怡电子针对五大测试的差异化需求,通过材料创新与结构优化,打造 “一板多能、场景定制” 的 IC 老化板产品,其核心应用优势体现在:

(一)全测试场景兼容:从 HTOL 到 HAST 的无缝适配

宽温高湿受设计

采用 PEEK 耐高温壳体(耐温 - 60℃~200℃)+ 镀金铍铜探针(耐腐蚀性提升 3 倍),在 HAST 121℃/100% RH 测试中,100h 内接触阻抗变化≤8%(行业平均≥15%),绝缘阻抗≥1800MΩ@500V DC,避免高湿导致的漏电;

针对 H3TRB 测试,额外增加陶瓷绝缘层与密封胶,封装密封性达 IP67 等级,无水汽侵入痕迹(通过 AEC-Q100 车规染色测试)。

电气性能准可控

低接触阻抗(≤18mΩ)+ 大电流传输能力(最大支持 600A),适配 HTOL 测试中功率器件的满载工作需求,测试时引脚温升≤10℃(环境温度 150℃),无额外压降影响;

高绝缘高压设计(耐电压 5000V AC/1min,绝缘阻抗≥2500MΩ@500V DC),满足 HTRB 测试中 SiC 器件 3300V 反向偏压需求,无电弧放电风险;

栅极专用通道设计(Ig≤0.05nA),适配 HTGB 测试,栅极漏电流测量误差≤5%,确保 Vth 测试精准。

(二)效率与可靠性双提升:适配量产与长周期测试

批量测试能力

模块化设计支持 8-32 颗芯片同步测试(如 HTOL 测试每小时完成 400 + 颗芯片筛查),配合自动化上下料系统,效率较传统单工位老化板提升 8 倍;

适配多封装类型(BGA、QFN、TO、SiP),通过更换适配卡座实现 “一座多用”,切换时间≤10 分钟,满足不同芯片量产需求(如消费电子 SoC 与车规 MCU 共线测试)。

长周期稳定保障

探针机械寿命≥1500h(远超 HTOL 1000h 测试需求),1000h 测试后接触阻抗变化≤5%,无触点氧化或磨损;

内置温度 / 湿度监测传感器,实时反馈老化板工作环境(精度 ±1℃/±2% RH),若出现异常(如温度超温)立即报警,避免芯片烧毁,测试安全性提升 90%。

(三)场景化定制:针对特殊需求的深度适配

车规 H3TRB 定制版

适配 AEC-Q100 标准,老化板预留压力监测接口,可同步测量封装内部水汽压力(≤10kPa),满足车规芯片 “零水汽侵入” 要求;

采用抗振动结构(支持 20g 加速度振动,符合 IEC 60068-2-6),测试过程中接触压力波动≤4%,适配车载环境的机械应力。

消费电子 HAST 定制版

优化散热结构内置铝制散热片),测试后降温时间从 30 分钟缩短至 10 分钟,避免冷凝水生成;

支持快速插拔(单次插拔时间≤5 秒),适配 HAST 短周期(48h)的高频次测试需求,单批次测试效率提升 50%。

IC可靠性老化板

五、IC 老化板 —可靠性测试的 “隐形守护者”

在芯片可靠性测试中,HTRB、HTGB、H3TRB、HAST、HTOL 通过差异化应力筛查不同缺陷,而 IC 老化板则是确保这些测试 “精准落地” 的核心:

保障测试真实性:鸿怡电子 IC 老化板的低阻抗、高绝缘、宽温湿耐受设计,使五大测试的参数测量误差≤5%,避免 “良品误判” 或 “不良品漏检”,筛选准确率达 99.98%;

提升测试效率:多工位同步测试、多封装兼容能力,使单颗芯片测试成本降低 40%,测试周期缩短 60%(如 HAST 测试从 100h 压缩至 48h);

支撑产业升级:从车规芯片的 H3TRB 测试到消费电子的 HAST 测试,鸿怡 IC 老化板的定制化能力可适配不同领域的可靠性需求,为 “国产芯片通过国际标准认证”(如 AEC-Q100、JEDEC)提供关键硬件支撑。

可以说,优质的 IC 老化板不仅是 “连接工具”,更是芯片从实验室研发到量产落地的 “可靠性底线守护者”。